在AI芯片封裝過程中的作用:在AI芯片的封裝過程中,非接觸除塵設備能夠清除封裝後產生的異物,確保芯片的清潔度和質量。這些設備還可以內置於FAB設備中,輔助搬運機器人傳遞晶圓,確保生產過程中的衛生和潔淨度。
在半導體生產過程中的應用:在半導體生產過程中,非接觸除塵設備用於對晶圓表麵進行無損傷清洗,去除製造、晶圓製造和封裝測試過程中可能產生的雜質,避免雜質影響芯片良率和性能。這些設備貫穿整個半導體生產過程,包括矽片製造、晶圓製造和芯片封裝階段。
在其他製造領域的應用:非接觸式除塵係統廣泛應用於各種生產製造場景,如PCB切割和鑽孔加工後的清潔、木地板打磨和切割、汽車零部件加工等。它能夠清除加工過程中產生的碎屑和灰塵,確保生產環境的清潔。
工作原理:非接觸式除塵係統通過以下步驟實現除塵效果:
靜電消除:在清潔頭前端裝有去除靜電裝置,首先去除材料表麵的靜電。
高頻震蕩:清潔頭兩側為吸氣,中間吹氣,通過係統發出強烈的氣流,在材料表麵產生高頻短波震蕩,使灰塵和雜質鬆動。
真空吸力:除塵頭兩側的真空吸力將鬆動的灰塵和雜質吸入除塵頭,從而達到除塵的效果。
技術參數和性能特點:
旋轉速度可調:噴嘴可以以每分鍾600~3000轉以上的速度高速旋轉,形成斜向下吹除的帶脈衝的強力氣流。
噴頭數量和角度可調:用戶可以根據需要調整噴頭的數量和角度,以適應不同的清潔需求。
耗氣量低:係統設計使得耗氣量低,運行成本較低。
使用壽命長:高質量的材料和精密的設計使得設備的使用壽命較長。