晶粒是晶圓切割後的產物,將整塊的晶圓按芯片大小分割成單一的芯片(晶粒);隨著現代工藝的進步,對晶粒尺寸要求越來越高,12英寸、8英寸、6英寸等,這對生產要求非常高,而真空妖精视频链接清洗機在晶圓生產的表麵處理中起非常重要的作用。
1、晶圓與晶粒關係
晶圓是指製作矽半導體電路所用的矽晶片,其原始材料是矽。高純度的多晶矽溶解後摻入矽晶體晶種,然後慢慢拉出,形成圓柱形的單晶矽。矽晶棒在經過研磨,拋光,切片後,形成矽晶圓片,也就是晶圓。國內晶圓生產線以 8英寸和 12 英寸為主。
晶圓切割(即劃片)是芯片製造工藝流程中一道不可或缺的工序,在晶圓製造中屬於後道工序。晶圓切割就是將做好芯片的整片晶圓按芯片大小分割成單一的芯片(晶粒)。
2、真空妖精视频链接清洗機在晶粒製造中的作用
晶園加工時,需要在無塵室進行製作,空氣中顆粒對晶圓加工後質量以及可靠性有影響,所以在處理前可以通過真空妖精视频链接清洗機處理表麵去除粉塵、有機物、顆粒物得到超潔淨的表麵,在後續的切割以及加工中,真空妖精视频链接清洗機也能提供表麵處理服務,讓晶粒表麵擁有極高的平整度、光滑度和潔淨度。
3、真空妖精视频链接清洗機在晶粒製造中優勢
3-1 表麵處理效果隻發生在物體的表麵幾到幾十個納米,清潔活化表麵的同時不會造成影響產品質量
3-2 表麵處理的效果可控性強,參數調整好後處理效果非常穩定,設備操作簡單,可以有效提高產品生產效率以及良品率
3-3 經過處理的表麵會生成活性基團,在去除有機物的同時提高表麵能,有利於後續黏晶、焊線、封膠等工藝。
目前半導體行業中妖精视频链接表麵處理工藝應用廣泛,很多企業選擇真空妖精视频链接清洗機替換原本的處理工藝,這樣幹式的處理方式,不僅節能環保,而且不會產生廢水汙染。如果有需求歡迎聯係谘詢。